吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡(jiǎn)單，易飽和，必須與脫附、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿足排放要求。
冷凝法：與吸收、吸附等方法聯(lián)用，將有機(jī)廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價(jià)值的有機(jī)物。此法適用濃度高、風(fēng)量小的有機(jī)廢氣處理場(chǎng)合。缺點(diǎn)是：投資、能耗、運(yùn)行費(fèi)用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當(dāng)部分液態(tài)廢棄物需要進(jìn)一步處理。該方案與生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)工藝存在匹配關(guān)系，偏離這種匹配關(guān)系將提高治理成本，影響治理效果。
沸石轉(zhuǎn)輪濃縮+焚燒法：沸石轉(zhuǎn)輪濃縮設(shè)備基本依靠進(jìn)口，自主產(chǎn)品尚不成熟。該方案同樣與生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)工藝存在匹配關(guān)系。
低溫等離子、光催化氧化法：揮發(fā)性有機(jī)物處理效率低，只能作為輔助性的治理手段。
此外，高溫等離子技術(shù)目前正在研發(fā)中，高溫等離子技術(shù)是高頻（30KHz）高壓（100KV）大功率電源在特定條件下的聚能放電，產(chǎn)生3千℃等離子態(tài)高溫氣流。
有機(jī)廢氣在反應(yīng)器中經(jīng)過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應(yīng)器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢(shì)的雙重作用下，有機(jī)廢氣瞬間（萬分之5秒）成為高溫等離子體，其中長(zhǎng)分子鏈裂解成單質(zhì)原子，有機(jī)物清除率大于98%。
高溫等離子焚燒裝置無需濃縮，便可直接處理低濃度、大風(fēng)量有機(jī)廢氣。每處理1萬立方米/小時(shí)有機(jī)廢氣，僅消耗10kW電力。
從資金投入和營運(yùn)成本考量，高溫等離子技術(shù)要優(yōu)于濃縮吸附+RTO焚燒方案。
 
焚燒法（RTO）：能耗大、運(yùn)行成本高，適合處理高濃度、小風(fēng)量有機(jī)廢氣。